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山东罗茨真空泵厂家简述风机选型注意事项
作者:管理员    发布于:2021-07-20 15:02:24    文字:【】【】【
      由于高压罗茨风机的使用非常的广泛,因为它的选型也相对复杂。山东罗茨真空泵厂家山东鑫圣澄机械有限公司认为,一般来说,需要按以下两个步骤进行,需要确定现场是使用高压罗茨风机的什么功能,是吸还是吹,找准高压罗茨风机对应的压力-流量曲线;如果看错曲线,有时候会造成选出来的产品不能使用;根据计算出来的压力和流量,在曲线图上找到同时满足压力和流量对应的工作点以上的工作曲线;然后根据工作曲线选择高压风机型号;不同的工作现场,其对压力和流量的需求就不一样,所以,要想得到相对准确的数据,就需要根据具体的环境进行相关的计算。子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

      由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个零下130至零下150摄氏度的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。水环泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000至4000帕,串联大气喷射器可达270至670帕。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机。

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