山东罗茨真空泵厂家简述设备换油步骤及转速不宜过高的原因
大家知道真空泵正确换油步骤吗，山东罗茨真空泵厂家带大家了解一下。首先将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，旋下注油塞和放油塞，放出污油。断电后使进气口通大气。待油停止流动时旋上放油塞。断续启动螺杆真空泵的电机4到6，使各真空小室内的油全部排出，然后从各抽气管加入干净的真空泵油200到300。断续启动电动机，再次清洗各真空室，重复清洗2到3次，放光清洗用油，旋上放油塞。但此时，在清洗螺杆真空泵的时候，应严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。换掉油过滤器。换上新油开机使用。因为真空泵意外错误解形成机器运用效率降低，影响晶圆的出产和交货，乃至形成晶圆废料和其他零件的加工损坏。因为螺杆设计采用单级设计，因而与多级泵如球缝，爪和组合相比，所用零件的数量可削减多达百分之六十。这对稳定性和未来的保护成本来说是一个很大的优势。
罗茨真空泵运行中的吸气和排气是通过气阀动作来实现，如果转速过高，就会导致气阀的动作跟不上，容易产生滞后现象，致使增加容积损失，反而不利于真空度的提高。同时还会导致泵阀撞击严重，加剧设备的磨损。设备本身会震动，随着转速的提高，它的各部分的振动也将增大，产生不利影响。另一种情况是因为转速高，在一定的抽气速率下，行程就越短，而装气阀，缸径又不能太小，否则会引起余隙容积增大，压缩线和膨胀线变短，不利于提高真空度。为保证真空，设备应采用低转速，长行程。真空泵的运行是以高速的旋转进行相应工作的，所以设备要进行停机操作一定要规范的操作，要不然会让设备自身形成伤害。关闭工艺入口阀，切出系统，打开吹扫阀转速提高之后，平衡通道的罗茨真空泵的平衡作用就会变得不明显，不能及时平衡气体，也就不能减少余隙容积带来的影响，从而影响真空度。
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